大理石平臺(tái)本身屬于精密度較高的量具，在各種檢驗(yàn)工作中都是理想的基準(zhǔn)面，大理石平臺(tái)精度可劃分為0級(jí)、00級(jí)、000級(jí)三個(gè)精度等級(jí)。三坐標(biāo)用的大理石平臺(tái)有著較高的要求，首先不可以有坑洼、劃痕、掉角，在精度方面也是有著較高的要求，一般采用00級(jí)大理石平臺(tái)。
大理石平臺(tái)精度參照個(gè)先進(jìn)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，平面度公差依：GB4987-85標(biāo)準(zhǔn)：
000級(jí)=1×(1+d/1000)um
00級(jí)=2×(1+d/1000)um
0級(jí)=4×(1+d/1000)um
1級(jí)=8×(1+d/1000)um
（d為對(duì)角線mm）（測(cè)量溫度一般在20±2℃）
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