花崗石精密平臺(tái)與構(gòu)件制品的毛坯先是用金剛石圓鋸片將花崗石荒料鋸切成所需尺寸，加工平面通常要經(jīng)過(guò)數(shù)道工序的砂輪磨削和拋光，更高精度必須通過(guò)灰鑄鐵研磨工具和碳化硅磨料進(jìn)行手工研磨獲得。需要開槽時(shí)選用相應(yīng)的銑頭，鉆孔時(shí)則用金剛石取芯鉆頭。其檢測(cè)手段有兩種：
一種是借助精度為0.5μm的電子水平儀，用位移法可檢測(cè)直線度，用來(lái)制法可檢測(cè)平面度，將測(cè)的結(jié)果經(jīng)過(guò)算法換算，可得到直線度和平面度的具體數(shù)值;其特點(diǎn)是精度不太高，但測(cè)量數(shù)據(jù)可靠，無(wú)'0'點(diǎn)漂移問(wèn)題，特別適合于在線測(cè)量與檢測(cè)。
 
另一種測(cè)量直線度的方法可以通過(guò)精度為0.1μm的電容測(cè)微儀用位移法測(cè)量，其表頭的示值即為直線度的誤差值;在此測(cè)量中，由于電感測(cè)微儀自身的'0'點(diǎn)漂移較嚴(yán)重，需經(jīng)過(guò)長(zhǎng)達(dá)24h的穩(wěn)定后，其數(shù)值才可信，故使得加工與測(cè)量間的銜接時(shí)間增長(zhǎng)。更高精度的加工必須有更高一級(jí)精度的檢測(cè)手段，目前常采用HP5528A或HP5529A動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀，它的顯示精度為1nm，可檢測(cè)平面度、垂直度、直線度、時(shí)基即振動(dòng)、角位移測(cè)量、對(duì)角測(cè)量等等。
 
動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀的檢測(cè)精度特別高，但由于其復(fù)雜的光系統(tǒng)和復(fù)雜的調(diào)試程序，尤其是光具返回光束的光強(qiáng)和保證在8%以上，否則光束將被擋住，這對(duì)調(diào)試者來(lái)說(shuō)調(diào)試較困難，調(diào)試時(shí)間較長(zhǎng)，調(diào)試方法不容易掌握。同時(shí)其要求的測(cè)量環(huán)境較高。如果需要大理石平臺(tái)檢測(cè)性能可以參考這里。